产品名称：氮化钽（TaN）

规格：0.8-10um（D50）

形貌：不规则

颜色：黑灰色

特点：高硬度、耐磨、化学惰性、热稳定性以及低的电阻温度系数

用途：耐磨涂层、薄膜电阻以及集成电路中的扩散势垒

中文名：氮化钽

英文名：tantalum nitride

CAS号：12033-62-4

密度：13.4 g/cm3

晶型：黑色六方结晶

熔点：3090°C

化学式：TaN

电阻率：128μΩ· cm

热导率：9.54W/(m·K)

分子量：194.95500

质量：194.95100

显微硬度：1100kg/m2

热导率：9.54W/(m· K)

晶格常数：a=0.4336nm，c=0.4150nm

水溶性：不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氢氧化钾并分解释放出氨，加热至2000℃即释放出氮气。

制备方法

1.将金属钽粉用氮气或氨气在1100℃左右直接氮化制得。

2.以金属钽和氮气为原料制备氮化钽，反应式如下：2Ta+N2=2TaN

将金属钽粉用氮气或氨气在1100℃左右直接氮化制得。

作用/用途

1、用来制造片状电阻的材料，氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。在制造集成电路的过程中，这些膜沉积在硅晶片的顶部，以形成薄膜表面贴装电阻。用来制造片状电阻的材料，氮化钽电阻则可抵抗水汽的侵蚀。氮化钽材料被用于制作芯片导线的保护层。

2、用作超硬质材料添加剂，可制备纯的五氯化钽：用于喷涂，增加变压器、集成线路、二极管的电稳定性。

存储方法：本品应密封保存于干燥、阴凉的环境中，不宜长久暴露于空气中，防受潮发生团聚，影响分散性能和使用效果，另应避免重压，勿与氧化剂接触，按照普通货物运输。