硅化钛的性质
硅化钛一种灰黑色粉末,密度4.39克/立方厘米,熔点1540摄氏度,硅化钛被广泛应用于金属氧化物半导体,金属氧化物半导体场效应晶体管和动态随机存储器的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。
硅化钛的应用方向
1.硅化钛因其薄膜电阻率低,熔点高,化学性质稳定,在微电子领域具有广阔的使用前景。
2.航天航空业,船舶潜艇制造,医用,首饰制造等领域。
3.用作精细陶瓷的原料粉。
硅化钛制作方法:
1.将金属钛和金属硅放入电弧炉内,在氩气气氛下于1100℃熔融制得二硅化钛。
2.采用合成法。将金属钛和金属硅放入电弧炉内,在氩气气氛下于1100℃熔融,即制得二硅化钛。
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